羅茨泵機(jī)組(羅茨泵)有效抽速的計(jì)算方法
大多數(shù)的羅茨真空泵 ( 除直排大氣羅茨泵以外 ) 都需與前級泵組合成羅茨泵真空機(jī)組應(yīng)用于各個領(lǐng)域。根據(jù)用途不同,羅茨泵機(jī)組常用的前級泵有旋片泵、滑閥泵、水環(huán)泵等。
羅茨泵與各種前級真空泵組合后的真空機(jī)組抽速可以通過計(jì)算求出,在以下計(jì)算中忽略前級連接管路的流阻影響。
羅茨泵工作時的有效氣體流量為:
Qe = Qth - Qv ( 5.2 )
式中 Qe ──羅茨泵的有效流量; Pa · L/s
Qth──羅茨泵的幾何流量, Qth = PA · Sth
Qv 一羅茨泵的泄漏返流流量
Qv =Qv1 + Qv2
Qv1 為由于羅茨泵轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵殼之間的間隙而造成的氣體返流量,Qv1可用下式表達(dá):
Qv1 = U ( Pv - PA ) (5.3)
式中 U ──羅茨泵內(nèi)上述所有間隙的等效通導(dǎo)
Pv ──羅茨泵排氣壓力 ( 泵前級壓力 )
PA ──羅茨泵吸入壓力
Qv2 為羅茨泵轉(zhuǎn)子在高壓排氣側(cè)吸附及攜帶返回低壓吸入側(cè)的氣體量,稱返擴(kuò)散氣體量,所以有:
Qv2 = Sr · Pv (5.4)
式中 Sr ──泵返擴(kuò)散氣體的等量抽速。
于是式 (5.2) 可表達(dá)成:
Qe = Qth - (Qv1 + Qv2) = PA · Sth - [ U (Pv - PA) + Sr Pv ] (5.5)
根據(jù)羅茨泵零流量壓縮比K0 定義:關(guān)閉泵進(jìn)氣管路,氣體流量為零時,前級真空管路中壓力與泵入口壓力之比為零流量壓縮比 K0 =Pv /PA , 該壓縮比的最大值用 K0max 表示,稱最大零流量壓縮比。令 (5.5) 式中 Qe 等于零 ( 實(shí)測中用肓板將泵進(jìn)氣口法蘭堵死 ) 則有 PASth - [ U (Pv - PA) + Sr Pv ] = 0
(5.6)
目前利用公式(5.6) 對 K0max 進(jìn)行定量計(jì)算很困難。首先由于 K0max 與等效通導(dǎo)U 有關(guān),即與泵內(nèi)轉(zhuǎn)子間隙有關(guān),而轉(zhuǎn)子間隙與轉(zhuǎn)子加工精度、泵體公差及加工精度、泵的安裝精度、軸承間隙等一系列因素有關(guān)。另外,影響 K0max 的 Sr 值與轉(zhuǎn)子表面精度有關(guān),每臺泵轉(zhuǎn)子的表面在加工中也不能做到完全一致。因此目前都是通過實(shí)測求得 K0曲線及 K0max 值。
羅茨泵機(jī)組在實(shí)際抽氣過程中存在以下關(guān)系:
Qe = PA · Se = Pv Sv = PA Sth - [ U (Pv - PA) + Sr Pv ] (5.7)
式中 Se ──羅茨泵機(jī)組有效抽速
Sv ──前級泵的實(shí)際抽速,它隨壓力變化而變化
對(5.7)式化簡有: (Sth + U) PA = (Sv + U + Sr) Pv (5.8)
同時有: Ke = Se / Sv = Pv / PA (5.9)
于是有: (5.10)
由于 Sth》U ,令: Kth = Sth / Sv(5.11)
則據(jù)(5.6)式有: 1 / Ke = 1 / Kth + 1 / K0max
即 (5.12)
用容積效率η表示羅茨泵機(jī)組 ( 即羅茨泵 ) 的有效抽速S